本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究集束型晶圆制造装备调度问题提供理论基础, 为推动集束型晶圆制造装备调度技术发展和企业实际应用提供参考, 对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。