本书内容包括原子探针的理论基础、实用方面和在材料科学中的应用三部分, 第一部分综述了原子探针技术的发展历程, 介绍了原子探针的原型设备场离子显微镜的工作原理、图像解释等基本理论, 重点讲述了原子探针层析术的最新发展如高压脉冲、激光脉冲和能量补偿等相关技术。第二部分讲述了原子探针样品制备的各种方法如抛光法、沉积法、高分子样品的制备方法, 重点讲述了聚焦离子束技术在制备样品中应用。第三部分首先原子探针层析分析物质组成和结构的原理及技术, 然后介绍了原子探针在研究材料学基本问题等。