全书共分九章, 内容包括: 绪论、MEMS系统级仿真平台构建技术、MEMS系统级多端口组件建模技术、MEMS器件级仿真平台构建技术、宏建模技术、MEMS工艺级建模与仿真技术、MEMS集成设计工具转换接口构建技术、MEMS Garden及使用、MEMS Garden器件设计实例。